1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成電路時，信號會從下柱栓流向上方，形成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為探針部提供適當的縱向位移，用于通過橫向懸臂接觸待測半導體產品，以避免探針部對待測半導體產品施加過大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對應高密度信號觸點的待測半導體產品的細間距排列，針尖接觸待測半導體產品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩(wěn)定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發(fā)生探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前性能良好的一種常見探針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對測試頻率比較敏感的測試環(huán)境；普通探針用于對信號衰減不敏感的測試環(huán)境。